雙電測四探針電阻率測試儀   型號(hào)： RTS-9  
    采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。  
雙電測四探針測試儀 四探針測試儀 四探針檢測儀 雙電測四探針測定儀 雙電測四探針電阻率測試儀 
是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序。測試程序在計(jì)算機(jī)與RTS-9型四探針測試儀連接的狀態(tài)下，通過計(jì)算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊。  
    測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析  
 測量范圍 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)；   
 方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展)；  
 電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm；  
 電阻：10-5～105 Ω；  
  雙電測四探針測試儀 四探針測試儀 四探針檢測儀 雙電測四探針測定儀 雙電測四探針電阻率測試儀 
可測晶片厚度 ≤3mm  
可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺(tái))；  
 200mmX200mm(配S-2B型測試臺(tái))；  
 400mmX500mm(配S-2C型測試臺(tái))；  
恒流源 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)  
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　  
 分辨力：10μV；  
 輸入阻抗：>1000MΩ；  
 精度：±0.1% ；  
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、量程自動(dòng)顯示；  
四探針探頭基本指標(biāo) 間距：1±0.01mm；  
 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；   
 機(jī)械游移率：≤0.3%；  
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；  
 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；  
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)  
模擬電阻測量相對(duì)誤差  
( 按JJG508-87進(jìn)行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字  
整機(jī)測量大相對(duì)誤差(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4%  
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤4%  
計(jì)算機(jī)通訊接口 并口  
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±2℃；  
 相對(duì)濕度：≤65%；  
 無高頻干擾；  
 無強(qiáng)光直射；